高精密加工的精密度級別介乎精密加工與超精密加工之間 ，高精度加工在定義上的一個特點是除了公差範圍以外 ，也同時考慮零件尺寸大小和批量 。加工大批量零件時保持5μm的公差 ，加工相互配合的兩個零件時保持 2μm的公差 ，或用小直徑的立銑刀在定位精度為0.3μ m的機床上進行加工等 ，都屬於高精密加工的範疇 。也就是說 ，零件尺寸和工件批量決定了某些特 定公差實現的難度 。高精度機床的結構特點為了實現較高精度的切削運動 ，高精密加工機床的運動控製普遍采用較別的功能部件 。在導軌和軸承方麵 ，由於高精度加工需要實現高精度和平穩的定位運動 ，軌跡運動和微小距離運動 ，因此高精度加工機床采用靜壓絲杠和靜壓導軌較為常見 。此外 ，高精密加工機床的電主軸也可采取動壓或靜承的方案 ，以同時實現支承和冷卻功能 ，並提高主軸的剛度和阻尼性能 。在位置控製方麵 ，由於精密測量是控製高精度加工的前提 ，要保證機床的運動達到需要 的精度級別 ，其電子尺的測量精度須要高 1~2 個數量級 。

 

  目前高精密加工一般采用分辨 率達 0.05~0.1μ m 的玻璃光柵 。機床的加工精度 ，光潔度和刀具壽命與機床的剛性成正比 ，因此高精度加工機床尤其重視床身的設計和材料選擇 。其床身材料為球墨鑄鐵 ，經過有限元分析優化後 ，床身的靜態剛度達120N/μ m ，比一般數控機床高3倍 ，高頻動態剛度比一般機床高2~3倍 。采用三點支撐 ，並將刀庫 、電氣櫃 、托盤交換裝置等 周邊係統與床身分離，此舉除可以簡化機床安裝以外 ，還有提高機床穩定性 、降低床身顫動的作用 。提高機床剛性的另一種途徑是使用人造花崗石材料澆注的床身 。穩定的溫度及震動阻尼基座 使 Pyramid Nano 機床可以加工出光潔度非常高的表麵 。此外 ，Armorith材料具有非常高的密度 ，2t重的機身僅占2.5m車間麵積 。

 

  高精密加工在機床工作期間 ，冷卻液循環係統根據各個熱源的發熱量供應比室溫低 2℃的冷卻液。確保每各個循環回路都提供稍大於熱源發熱量的冷卻量 ，以保持機床的熱變形在允許範圍之內 。由於刀具在切削過程中的熱變形無法*避免 ，機床的數控係統可以對刀具引起的Z軸誤差作出補償 。zui後 ，必須指出的是 ，除了先進功能部件和技術以外 ，超精密機床的製造 也離不開傳統工藝 ，例如 ，裝配1台超精密機床需要高達數百小時的刮研工作量 。