高精密加工測量 ，讀數值直接表示被測尺寸的大小 、如用遊標卡尺測量 。相對測量 ，讀數值隻表示被測尺寸相對於標準量的偏差 。如用比較儀測量軸的直徑 ，需先用量塊調整好儀器的零位 ，然後進行測量 ，測得值是被側軸的直徑相對於量塊尺寸的差值 ，這就是相對測量 。一般說來相對測量的精度比較高些 ，但測量比較麻煩 。按被測表麵與量具量儀的測量頭是否接觸，分為接觸測量和非接觸測量 。接觸測量 ：測量頭與被接觸表麵接觸 ，並有機械作用的測量力存在 。如用千分尺測量零件 。非接觸測量 ：測量頭不與被測零件表麵相接觸 ，非接觸測量可避免測量力對測量結果的影響 。如利用投影法、光波幹涉法測量等 。

 

  高精密加工主要用於生產產品程度 ，加工精度與加工誤差都是評價加工表麵幾何參數的術語 。加工精度用公差等級衡量 ，等級值越小 ，其精度越高 ；加工誤差用數值表示 ，數值越大 ，其誤差越大 。加工精度高 ，就是加工誤差小 ，反之亦然 。公差等級從IT01 ，IT0 ，IT1 ，IT2 ，IT3至IT18一共有20個 ，其中IT01表示的話該零件加工精度zui高的 ，IT18表示的話該零件加工精度是zui低的  ，一般上IT7 、IT8是加工精度中等級別 。任何加工方法所得到的實際參數都不會準確 ，從零件的功能看 ，隻要加工誤差在零件圖要求的公差範圍內，就認為保證了加工精度 。機器的質量取決於零件的加工質量和機器的裝配質量 ，零件加工質量包含零件加工精度和表麵質量兩大部分 。機械加工精度是指零件加工後的實際幾何參數（尺寸 、形狀和位置）與理想幾何參數相符合的程度 。它們之間的差異稱為加工誤差 。加工誤差的大小反映了加工精度的高低 。誤差越大加工精度越低 ，誤差越小加工精度越高 。

 

  高精密加工是加工後零件表麵的實際尺寸 、形狀 、位置三種幾何參數與圖紙要求的理想幾何參數的符合程度 。理想的幾何參數 ，對尺寸而言 ，就是平均尺寸 ；對表麵幾何形狀而言，就是的圓 、圓柱 、平麵 、錐麵和直線等 ；對表麵之間的相互位置而言 ，就是的平行 、垂直 、同軸 、對稱等 。零件實際幾何參數與理想幾何參數的偏離數值稱為加工誤差 。